光罩基板品質提升及降低成本

  • 玻璃清洗與濺鍍效率提升
  • 缺陷AOI自動檢驗
  • 石英光罩基板業務

石英基板加工、低氣泡玻璃

  • 石英減薄
  • 石英亮邊
  • 石英基板、光罩轉裁技術

微細加工技術

  • 曝光顯影技術
  • 玻璃蝕刻技術
  • 厚膜光阻塗佈
  • 抗刮技術

光罩護膜技術

  • AS/AF塗佈技術
  • 缺陷AOI自動檢驗
  • 抗靜電、抗刮塗佈